目視檢查用Na燈

測膜厚的mura檢查機使用的Na照明。

針對塗布面的膜厚檢查或干涉波紋檢測所使用的Na照明。由於Na燈是單色光的關係，對目視檢查是有幫助的光源。

另外也有提供和Na燈同波長且省電力、高使用壽命的LED照明。