適用在無塵室中的大型玻璃基板輸送帶。

可以對應尺寸最大的10.5世代(2940x3370mm) 的基板。

提供搬送系統方案,如基板搬送手臂、旋轉台、緩衝器等必要裝置及規格。

線上詢價