大型ガラス基板搬送コンベア

クリーンルームでのガラス基板搬送コンベアです。

基板サイズは最大10.5世代サイズ(2940x3370mm)まで対応可能です。

基板搬送ロボット、旋回台、バッファ、等、必要な装置構成と仕様を検討し、搬送システムのご提案を致します。